【摘 要】
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本文采用射频反应磁控溅射技术在柔性PET衬底上成功地制备了掺杂Al的ZnO薄膜(ZnO:Al/AZO薄膜)。分析测试了不同溅射条件下生长的柔性A.ZO/PET薄膜的结构和光学特性,研究其生
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本文采用射频反应磁控溅射技术在柔性PET衬底上成功地制备了掺杂Al的ZnO薄膜(ZnO:Al/AZO薄膜)。分析测试了不同溅射条件下生长的柔性A.ZO/PET薄膜的结构和光学特性,研究其生长过程和发光机制,优化工艺条件,获得了具有优秀的近紫外受激发射性能的柔性AZO薄膜。通过控制参量法,分别改变溅射功率、衬底温度、氩氧流量比、沉积时间等参数,沉积了不同结构与性质的柔性AZO/PET薄膜,并采用Monte Carlo方法模拟了薄膜的生长过程,以指导工艺条件的优化。本文采用X射线能量色散仪(EDS).原子力显微镜(AFM)以及X射线衍射(XRD)等技术分别测试分析了不同柔性AZO/PET薄膜的表面组分、表面结构以及晶体结构,研究了溅射条件对薄膜结构的影响规律。对不同柔性AZO/PET薄膜的紫外红外吸收光谱(UV-VIS)以及光致发光光谱(PL)的测试结果表明,采用射频反应磁控溅射技术,在本文选取的合适的制备条件下生长的柔性AZO/PET薄膜具有良好的可见光透过率及很强的紫外吸收性,并在390nm附近呈现出优秀的光致发光特性。本文研究了AZO/PET柔性薄膜的发光机制,得出薄膜具有激子近带边发射为主的光学特性。本文研究结果为开发柔性AZO薄膜光电子器件提供了实验依据和理论指导。
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