【摘 要】
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大多数生物粒子（如细胞）具有弱反磁性，当反磁性物质处在顺磁性溶液中，并施加磁场时，会受到磁场给它的反磁力和溶液给它的反磁浮力。当粒子所受反磁力、反磁浮力、浮力与重力平衡时
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大多数生物粒子（如细胞）具有弱反磁性，当反磁性物质处在顺磁性溶液中，并施加磁场时，会受到磁场给它的反磁力和溶液给它的反磁浮力。当粒子所受反磁力、反磁浮力、浮力与重力平衡时，粒子可以稳定悬浮。本文利用大多数生物体自身的反磁特性，结合MEMS技术，利用磁阿基米德效应，以独特的“反磁势阱钳”实现生物粒子芯片内的俘获和操纵。本文介绍了一种高效和方便的悬浮和操纵反磁粒子的方法，其中用到线圈阵列和软磁材料来产生磁场。此方法结合MEMS技术，制备了一种线圈阵列芯片。并对该微操纵技术的实现原理、相应芯片的实现工艺及相应的控制电路作了详细阐述。通过实验证明，基于MEMS的反磁微操纵技术完全可以实现生物粒子的收集、分离等微操纵，且具有自己独特的优势，有望成为一种新型的微操纵技术。
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