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高效重载压电粘滑驱动平台解耦设计与试验研究
【摘 要】
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压电粘滑驱动平台因具有定位精度高、响应速度快以及无电磁干扰等显著优势,在超精密加工、半导体制造以及精密光学系统等领域展现出了良好的科学意义和广泛的应用前景。然而,当前压电粘滑驱动平台带载后,输出性能急剧下降,甚至无法工作,成为制约压电粘滑驱动平台进一步发展的瓶颈问题。针对上述问题,本文通过引入承载单元,将压电粘滑驱动平台的驱动单元与运动单元进行解耦设计,使得负载直接作用于承载单元,而驱动单元与运动
【出 处】
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长春工业大学
【发表日期】
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2021年08期
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