碳化硅材料性能优良，被广泛应用于机械制造、电子、航空航天、军事等领域。其硬度仅次于金刚石，广泛用于磨料的生产加工中，如有色金属的磨削、微型轴承的超精磨等。此外，碳化硅还是防火材料、脱氧剂、耐磨及高温件的重要原料。碳化硅材料在各领域的广泛应用，推动着学术界和企业界对其加工过程的研究越来越深入，其中，碳化硅的加工工艺参数直接影响着加工成本和工件质量，因此，对其加工工艺参数优化进行研究，具有非常重要的意义。本文对碳化硅承载台的磨削加工试验进行分析，以求得出影响磨头磨损和工件表面粗糙度的重要因素，并在此基础之上，对磨削加工工艺参数进行优化，从而找出一套最优的工艺参数组合。首先，对碳化硅承载台工件进行阐述，根据相关加工理论和加工实践经验设计出加工工装、磨削所用磨头，并选择一套合理的加工工艺。其次，基于SPSS统计软件，以主轴转速、进给速度、进给量、磨头镀砂粒度为影响因素，以使用磨头个数和表面粗糙度为试验指标，设计正交试验；此外，还选取微晶玻璃材料进行试验，以便与碳化硅材料做对比研究；采用方差分析法对碳化硅和微晶玻璃承载台的单指标的影响因素进行分析，以得出各因素对指标的影响程度；在此基础之上，对比两种材料的工艺参数和指标的异同点。最后，基于灰色度理论对双指标的工艺参数进行优化，找出一组最优的加工工艺参数，并通过试验对优化后的参数进行验证，最终得出使用经过优化后的工艺参数进行加工，能够在使用磨头个数略有增加的情况下大大提高加工质量。