【摘 要】
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有机电致发光显示器(OLED)因其质量轻、视角广、画面响应速度快、能耗低及可柔性加工等优势,近年来受到广泛关注。其器件结构是由空穴注入层、发光层、电子传输层等组成的多层膜结构。而在关键功能层的制造技术上,相比于金属掩膜板蒸镀、原子层沉积等传统技术,喷墨打印具有无需使用掩膜板实现图案化、材料利用率高、工艺简单、成本低廉的特点,被认为是制造大尺寸高分辨率OLED面板最有潜力的彩色化成膜技术之一。其中,
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目:电流体喷印飞升级墨滴阵列调控机理研究(51975236); 国家重点研发项目:高性能印刷电子器件的高精度跨尺度喷印制造基础研究(2018YFA0703203); 广东省重点领域研发项目:印刷OLED显示高精度喷墨打印设备研发及应用(2019B010924005);
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有机电致发光显示器(OLED)因其质量轻、视角广、画面响应速度快、能耗低及可柔性加工等优势,近年来受到广泛关注。其器件结构是由空穴注入层、发光层、电子传输层等组成的多层膜结构。而在关键功能层的制造技术上,相比于金属掩膜板蒸镀、原子层沉积等传统技术,喷墨打印具有无需使用掩膜板实现图案化、材料利用率高、工艺简单、成本低廉的特点,被认为是制造大尺寸高分辨率OLED面板最有潜力的彩色化成膜技术之一。其中,发光层的RGB墨水打印墨滴定位误差控制是制造OLED面板的多轴喷墨打印系统的关键技术,墨滴定位误差指打印系统中喷头定位误差与基板定位误差的差值。本文围绕多轴喷墨打印系统的墨滴定位误差建模、灵敏度分析和分配方法展开研究,主要研究内容如下:(1)基于多体系统理论和齐次坐标变换,建立了一种多轴喷墨打印系统的墨滴定位误差模型。首先将多轴喷墨打印系统用多体系统拓扑结构进行描述,借助低序体阵列对多轴喷墨打印系统拓扑结构中的各相邻体进行表示,然后用齐次坐标变换推导出理想情况和实际情况下,多轴喷墨打印系统的任意两相邻体之间的运动误差特征矩阵,最后得到墨滴定位误差模型。(2)对多轴喷墨打印系统中位置、角度与垂直度误差等进行灵敏度分析,获得了各项误差的全空间最大区间灵敏度。先在墨滴定位误差模型基础上,运用区间理论对不同的位置、角度与垂直度误差等,进行区间化处理;在考虑了阿贝误差的前提下,通过直接矩阵微分法对墨滴定位误差模型进行灵敏度分析,为后续的墨滴定位误差分配提供了误差分配权重。(3)提出了一种墨滴定位误差分配方法。建立了墨滴定位误差分配模型,以各项误差的区间宽度为设计变量,以X、Y两方向上的墨滴定位误差均不超过误差允许范围为约束条件,以各项误差的全空间最大区间灵敏度为分配权重,以最大化各项位置、角度与垂直度误差等的允许范围为设计目标。通过求解墨滴定位误差分配模型,在达到墨滴定位误差指标的前提下,使各项误差允许范围最大化。(4)以本课题组搭建的喷印图案化实验平台为例,运用本文所提出墨滴定位误差建模与分配方法,对其合理性和有效性,进行了仿真验证。先建立实验平台的墨滴定位误差模型,进而推导出实验平台的墨滴定位误差分配模型,然后求解墨滴定位误差分配模型得到各项误差的最大允许范围。在喷印图案化实验平台的21项误差分别取最大值与区间值情况下,通过墨滴定位误差模型得到的墨滴定位误差合格率,验证了本文喷印图案化墨滴定位误差建模与分配方法的可行性。面向OLED面板制造的喷墨打印图案化工艺,提出了墨滴定位误差建模和分配方法,建立了多轴喷墨打印系统的墨滴定位误差模型,在确保墨滴定位误差不超过一定范围的条件下,分析了不同误差对墨滴定位误差的影响程度大小,进而得到了多轴喷墨打印系统不同误差的允许范围。本文的研究,对制造不同尺寸OLED面板的多轴喷墨打印系统的设计、墨滴定位误差建模和分配、控制墨滴定位误差和打印系统成本,具有参考与借鉴意义。
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