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碳纳米管具有许多特殊物理和化学性能。利用其电学性能制作微纳电子器件和综合利用其力学、热学和化学性能制造复合材料是目前最为典型的应用。在微纳级电子器件的应用方面,其一体化的设计对于碳纳米管的制备有很大的难度。在复合材料的应用方面,如何突破使用温度的限制,提高综合力学性能和导热性能,仍有许多挑战。针对上述问题,本文从微纳元件、材料乃至设备的多个尺度开展设计与制造问题的研究,所进行的探索性工作和主要结论如下:(1)采用等离子体化学气相沉淀法制备竖直生长的碳纳米管,研究不同基体层、阻