准分子激光器已广泛应用于医疗、工业和科研等领域。预电离技术对准分子激光光束质量及稳定性影响很大。本文设计出一套适用于准分子激光器的电晕预电离装置，并搭建实验装置，验证比较不同实验条件对电晕放电的影响，并对电晕预电离支持的辉光放电进行了初步的研究。本文首先介绍了现有的常见的几种预电离技术，并对各自的优缺点进行了分析，最终针对具体的准分子激光器，结合实验室的条件，设计了一套能产生主放电所需的初始电子浓度，且分布均匀，具有UV利用率高、寄生放电少、结构紧凑、稳定性好、寿命长的电晕预电离装置。然后详细介绍了电晕预电离的原理，分析了电晕预电离的各种影响因素，设计出验证一些因素影响的实验方案。随后搭建了实验装置，对空气中电晕放电现象进行了观测，并用光电二极管和光电倍增管对电晕强度进行了探测。接着对大气中电晕放电和空气尖端放电光谱进行了检测，并对电晕放电等离子体转动温度进行了拟合计算。随后在激光放电腔中对电晕预电离装置进行实验研究，对放电现象进行了观测，并使用ICCD对激光腔内放电时空演化过程进行了记录。该预电离装置，已成功地支持了多种脉冲气体激光介质的快速放电。最后对实验结果进行了分析总结，并对优化方案进行了展望。