本文以静电悬浮加速度计敏感结构为研究对象,针对目前敏感结构电极框的存在的限制因素多、加工与检测精度低、难以满足需求这一瓶颈问题,探索敏感结构的高精度加工与检测技术,力争突破制约我国高精度静电悬浮加速度计性能的瓶颈,为我国第一代重力测量卫星提供技术支持。论文的主要研究内容和创新点如下：1.针对电极框等关键部件的结构特点、材料特性以及技术要求,确定了以确定性抛光技术为基础的综合误差修正的工艺路线,在综合分析其加工工艺特点的基础上提出合理、可行的加工检测方案。2.提出一种新的高精度电极框内表面面形误差、内电极面间垂直度、平行度误差检测方法,此方法不但可以得到亚微米精度的电极框形位误差,而且还能获得其残差分布数据,为电极框的形位误差修正加工提供了依据。3.建立了电极框内表面三维误差的数学模型,提出正方度的概念,并运用最小二乘和最小区域两种评价方法实现了电极框内表面形位误差的综合误差评价算法,根据该方法可优化出各表面加工余量的最佳分配,从而缩短加工周期,提高加工效率。4.分析了液体喷射抛光技术的特点及应用于电极框加工的技术优势,结合电极框的结构特点进行了工艺参数设计和去除函数的实验建模,根据此模型对某微晶块进行了加工实验,实验表明液体喷射抛光技术对于电极框加工是合理、可行的。