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本文选用硝酸盐为原料,柠檬酸为络合剂,采用溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了BiFeO3薄膜材料。通过对比实验研究了不同前驱体溶胶对薄膜结构的影响,同时对制备BiFeO3薄膜的热处理温度、时间等条件进行了一系列的优化,并且研究了薄膜中成分的均匀性。在此基础上分别研究了A位和B位替代对薄膜结构和磁性能的影响。主要的研究内容如下:1.研究了不同溶胶凝胶制膜工艺对BiFeO3薄膜结构的影响。采用溶胶凝胶方法,以金属硝酸盐为原料,以柠檬酸为络合剂制备了BiFeO3薄膜。实验对比结果表明,当溶胶中柠檬