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本文通过在放电回路中连接电容控制放电电荷数目并得到稳定的氧等离子体。在放电回路中接入容值分别为50 pF、75 pF、150 pF和300 pF的电容器,分析等离子体的电压电流波形和放电功率,确定最合适本实验的耦合电容。通过研究等离子体的电压电流波形和放电图像的变化分析了放电模式在不同应用电压下的转化过程;通过对等离子体发射光谱的测量研究,计算了放电产生的活性物种的发射光谱强度;在工作气体中加入一定量的氮气N_2,对产生的氮分子第二正带N_2(C_3Πu→B_3Π_g,Δv=2)的发射光谱进行模拟,