国际市场上,基于工业以太网而开发和应用的针对高端大型设备的自动化控制系统越来越多,尤其是在大型医疗设备,大型太阳能生产设备,及各种大型工业控制系统(电力燃气控制、电站机组控制等等)得到广泛的应用。工业以太网作为他们的首选,加上西门子PLC具有相当完善的设计和非常稳定的性能。对于企业,对于社会,研究PECVD设备及其软件控制,主要是通过引进新技术和新的生产体系的建立,实现设备生产与控制的流程化、工程化。企业竞争力的体现主要是技术创新、服务创新、企业内部产业结构调整与升级,使PECVD设备能在原有的基础上得到更大的扩展与提升。本文对PECVD系统的PLC程序的设计进行了详细叙述。研究过程中完成控制电柜的电路图设计,完成WinCC触摸屏软件的设计,完成系统各驱动器的参数设置及工业以太网设计,以及网络图绘制。着重分析了西门子PLC与PECVD中的Compax3伺服驱动器底层驱动程序编程与设计、PECVD设备系统的硬件配置与初始化、伺服电机保存参数程序设计、人机界面程序、控制系统的应用主程序设计做了详细的介绍,深入研究了PLC程序实现,以及PECVD各个功能模块设计过程。