【摘 要】
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石墨烯,一种由单层碳原子构成的具有六边型类似蜂窝状网格结构的二维晶体,作为目前最薄的二维材料,其所拥有的超大比表面积、优异的透光性、导电性、热导率以及力学性能等使其在晶体管、透明电极、传感器等多个领域有着广阔的应用前景。而化学气相沉积法(CVD法)作为制备石墨烯的方法之一,因操作简易,可控层性强并且制备出的石墨烯薄膜面积大、缺陷少,具有较高的透光性和导电性而被广泛应用于石墨烯的生产中。相应生长机理
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石墨烯,一种由单层碳原子构成的具有六边型类似蜂窝状网格结构的二维晶体,作为目前最薄的二维材料,其所拥有的超大比表面积、优异的透光性、导电性、热导率以及力学性能等使其在晶体管、透明电极、传感器等多个领域有着广阔的应用前景。而化学气相沉积法(CVD法)作为制备石墨烯的方法之一,因操作简易,可控层性强并且制备出的石墨烯薄膜面积大、缺陷少,具有较高的透光性和导电性而被广泛应用于石墨烯的生产中。相应生长机理及生长工艺已经发展较为成熟,但如何实现工业化石墨烯薄膜的大面积、高质量的常压可控生长仍然是研究热点。现阶
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