【摘 要】
：
随着经济全球化以及信息产业的迅速发展,集成电路产业已经成为各行各业最重要的基石。光刻机作为集成电路生产的核心装备,按照摩尔定律迅猛发展。调焦调平系统是高分辨率光刻机的重要子系统之一,决定着光刻机的套刻精度以及曝光质量,通过线阵CCD探测器高速获取硅片图像数据、实时计算离焦量等信息并同步进行伺服控制,核心要素为数据的高速获取及传输。为此,需要配备一套高速数据传输系统,实现信息交互、数据分析以及系统测
论文部分内容阅读
随着经济全球化以及信息产业的迅速发展,集成电路产业已经成为各行各业最重要的基石。光刻机作为集成电路生产的核心装备,按照摩尔定律迅猛发展。调焦调平系统是高分辨率光刻机的重要子系统之一,决定着光刻机的套刻精度以及曝光质量,通过线阵CCD探测器高速获取硅片图像数据、实时计算离焦量等信息并同步进行伺服控制,核心要素为数据的高速获取及传输。为此,需要配备一套高速数据传输系统,实现信息交互、数据分析以及系统测试等功能。本文以调焦调平系统的数据传输需求为出发点设计了一款通用型、可扩展、高性能的基于PXIe总线与FMC接口的通信板卡。系统硬件方案遵循FMC接口标准,将系统分为载卡与夹层卡两部分。载卡采用赛灵思公司的Kintex7系列的FPGA作为主控制器,负责实现接口逻辑控制;采用4片DDR3 SDRAM内存颗粒构成高带宽、大容量的缓存系统;通过PXIe总线与计算机系统互联并实现信息交互。夹层卡配备SFP高速光纤接口与调焦调平系统连接。为了提高系统稳定性与开发效率,基于赛灵思公司的IP核完成PXIe、SRIO、DDR等接口的逻辑的设计与实现。板卡研制完成后,对其进行了调试及验证,包括接口测试以及调焦调平系统联合测试。测试结果表明,PXIe接口上传速率可达25.686Gbps,光纤接口数据传输速率可达3.4Gbps,各项功能及性能指标均达到了预期目标要求。联合测试结果表明,板卡可高速、实时接收并上传图像数据,同时下传光斑切换表至调焦调平系统,验证了方案设计的正确性与合理性,满足调焦调平系统数据获取、分析及处理的应用需求。
其他文献
在数字经济时代,随着数据的爆发式增长,光通信芯片作为现代通信网络的基础构成单元,有着广泛的应用场景。在接收端,跨阻放大器（Transimpedance Amplifier,TIA）作为光接收机前端的重要组成部分,直接决定了光接收机整体的性能。本文围绕应用于光接收机前端的跨阻放大器展开研究,面向5G和F5G“双千兆”网络两种应用场景,针对不同应用场景提出的差异化要求,分别基于45nm RFSOI工艺
由于受其他法系国家立法以及理论的影响,对于部分请求的研究在我国已经发展了较长一段时间,但并未在我国形成通说。虽然我国立法体系中没有以“部分请求”等关键词对该类诉讼进行明确,但是在《关于确定民事侵权精神损害赔偿责任若干问题的解释》（以下简称《精神损害赔偿解释》）《最高人民法院关于审理人身损害赔偿案件适用法律若干问题的解释》（以下简称《人身损害赔偿解释》）及《关于审理民事案件适用诉讼时效制度若干问题的
随着全球人口老龄化速度的加快,血管狭窄性疾病的发病率也随之不断攀升,血管支架的介入是目前治疗血管狭窄性疾病最普遍的手段之一。但支架植入后会发生一定比例的支架内再狭窄,人们一直在为如何降低甚至避免支架内再狭窄进行不懈努力。本文则是从支架金属平台材料和药物涂层两个方面来优化设计支架,以期进一步降低支架内再狭窄发生率。本文研究思路是采用具有多重生物功能性铜元素的含铜钴基合金作为支架金属平台材料,将同时具
第二次世界大战后,刚刚结束日本占领的印度支那地区先后陷入了第一次印度支那战争和第二次印度支那战争的泥潭。1975年,随着越南抗美统一战争的胜利和柬埔寨人民推翻朗诺政权,似乎印度支那地区将从此迎来人民期盼已久的和平,走上独立自主和平发展之路。然而,两个刚刚获得解放的国家越南和柬埔寨却因为历史的积怨、领土争端,乃至意识形态的分歧,走上冲突之路。越南和柬埔寨两国从最初的边境摩擦,到最终演化成越南全面入侵
由于介质的不完全吸收,部分泵浦功率转变为废热在激光晶体中不断积累,由此产生出的热效应问题将直接导致激光晶体光学性能降低。随着固体激光器不断向小型化、高输出功率、长时间运行等方向发展,激光晶体的热效应问题日益突出,当前的散热方式已经无法满足固体激光器持续高效散热的需求。为快速高效的导出激光晶体产生的废热,减小其热效应,引入了微通道热沉散热技术。当前对于微通道热沉的研究主要集中于热沉散热性能的提高,大
食管癌是一种常见的消化系统癌症,伴随着高发病率和高死亡率。在中国,主要是以原发性食管鳞癌为主。目前,消化内镜检查仍是我国食管鳞癌早期筛查的常规手段。由于内镜下的病灶在形状、颜色和质地上的个体差异和视觉相似性,食管鳞癌的诊断准确率和效率都极大地依赖于临床医生的熟练程度和主观判断,早期病变在白光内镜下时常被漏诊。因此,本文旨在开发并验证一个基于卷积神经网络的人工智能（artificialintelli
目的构建预防呼吸机相关性肺炎集束化护理方案,验证集束化护理方案在新生儿机械通气时的应用效果。方法通过查阅文献、病例回顾、专家小组讨论、专家函询等方法构建新生儿重症预防呼吸机相关性肺炎的集束化护理方案。本研究选取2021年02月～2021年12月期间,黑龙江省哈尔滨市某三级甲等医院80例机械通气患儿作为研究对象。根据患儿入院的顺序,采取随机数字表法随机分为2组,对照组40例,试验组40例。对照组给予
猪A群轮状病毒（Porcine rotavirus group A,PoRVA）是引起仔猪腹泻的重要病原,对养猪业造成了重大的经济损失。并且,PoRVA还可跨种间传播到人和牛等多种哺乳动物,具有重要的公共卫生学意义。该病毒已经在国内猪中广泛流行,但关于藏猪源RVA的流行病学资料很少。本研究的目的是对2021年度四川省甘孜藏族自治州（以下简称甘孜州）7个地区的藏猪养殖场进行PoRVA的分子检测,并对
应处分权主义与辩论主义之要求,法院裁判范围需受当事人诉讼请求拘束,既不能超判,也不应漏判。衡量法院是否“判如所请”的标准是诉讼请求,但现行立法均未对诉讼请求的含义作出明确界定,学界对其定义亦不统一。诉讼请求贯彻起诉、审理和裁判的全过程,包含程序和实体两层面。前者侧重于原告的权利主张方式,即向法院提起诉讼;后者侧重于原告胜诉权的保障,即需存在诉争的实体权利或法律关系。通俗来讲,诉讼请求即原告寻求法律
后摩尔时代需要更小,速度更快的晶体管,也需要更多功能的器件,例如射频和光电器件。对于射频晶体管,不断提高其截至频率是一直以来追求的目标;光电器件需要不断提高其探测性能,才能够应用于更加精密的探测场合。二维材料电子器件是一种非常有望突破摩尔定律极限的新型半导体器件,但当前基于二维材料的半导体器件进行大面积的制备非常困难,难以与主流的半导体工艺进行集成。可以进行大面积器件构筑的工艺是二维材料走向实际应