Ni离子注入超纳米金刚石薄膜场发射性能研究

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【摘要】

：

超纳米金刚石(UNCD)具有细小的晶粒尺寸及高导电性能,在冷阴极场发射器件领域有着极大的应用潜力。离子注入是一种有效提升金刚石薄膜导电性能的表面改性技术,退火处理后可以使得金刚石薄膜的电学性能进一步得到改善。本文首先在不同气氛下进行了超纳米金刚石薄膜的制备,分析不同气氛下及100 keV、1.0× 1017ions/cm2的Ni离子注入后薄膜场发射性能的变化情况。其次,采用不同退火方式及退火温度进

【作者】

：

王垚

【发表日期】

：

2021年01期

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