【摘 要】
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铁电薄膜,由于具有良好的力电耦合性能,在过去二十年里广泛应用于高压电容器、传感器和铁电场效应晶体管等。然而,当铁电薄膜用于微器件工作时会遭受外场作用。自然地,铁电薄膜可能由于热载荷、电载荷和机械载荷而诱致失效。当铁电薄膜受到较大外场作用时,可能会发生畴变,并且这种畴变特性广泛应用于微电子器件中。值得注意的是裂纹尖端附近发生的畴变会引起铁电薄膜的断裂增韧行为。因此,在研究铁电薄膜断裂机制时应当考虑外
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铁电薄膜,由于具有良好的力电耦合性能,在过去二十年里广泛应用于高压电容器、传感器和铁电场效应晶体管等。然而,当铁电薄膜用于微器件工作时会遭受外场作用。自然地,铁电薄膜可能由于热载荷、电载荷和机械载荷而诱致失效。当铁电薄膜受到较大外场作用时,可能会发生畴变,并且这种畴变特性广泛应用于微电子器件中。值得注意的是裂纹尖端附近发生的畴变会引起铁电薄膜的断裂增韧行为。因此,在研究铁电薄膜断裂机制时应当考虑外场和畴变作用。此外,由于畴变是电滞回线和蝶形曲线的源动力,并且对于铁电材料极化过程中的技术开发也有着重要
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