超声振动辅助微细电解电火花加工技术研究

来源 :山东大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：airbike

【摘要】

：

随着微机电设备技术的不断发展,玻璃微结构(非导电硬脆难加工材料)在生物医学、化学、航空航天和微型实验装置等领域应用广泛。本文选取玻璃作为加工对象,微细电解电火花加工添加超声振动辅助,探讨了超声振动辅助对微细电解电火花加工原理、加工过程以及加工结果的影响,并进行了一系列试验研究,主要研究内容包括以下几个方面:(1)理论分析电解电火花加工的气膜成形机理、超声振动辅助对气膜的影响以及材料去除机理;建立微

【作者】

：

魏志远

【出处】

：

山东大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

超声振动辅助电解电火花加工振动幅度玻璃微结构表面粗糙度

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