NO₂气体传感器可以用来探测生活环境或工业生产中的NO₂含量,给人们的健康生活提供参考。发展低功耗、可在室温环境中使用的NO₂气体传感器是现在的研究热点。本文以ZnO纳米薄膜为载体,研究了不同光强紫外光照射对ZnO纳米薄膜室温NO₂气体传感器性能的影响。最终制备了高灵敏度、回复时间短的ZnO纳米薄膜室温NO₂气体传感器,并对影响气体传感器灵敏度的因素进行了研究。在多种基底上制备了ZnO纳米薄膜,这种薄膜的厚度为15 nm,具有氧空位多的特点,适于制作NO₂气体传感器。利用该薄膜制成的NO₂气体传感器在室温黑暗条件下灵敏度较低,无法在短时间内回复。为了提高器件的灵敏度和回复速度,采用中心波长为365 nm的紫外光持续照射器件的办法。研究了在不同光强紫外光照射时,ZnO纳米薄膜气体传感器对NO₂气体灵敏度的变化。随着紫外光的光强增强,器件灵敏度呈现先增大后减小的趋势。经过研究,这是由于NO₂吸附在ZnO纳米薄膜表面后夺取的电子占光生电子的比例先增大后减小。在光强为25μW cm^-2的最佳光照下,ZnO纳米薄膜NO₂气体传感器对100ppm NO₂的灵敏度为574。相比黑暗条件下,器件的灵敏度提高64倍,响应时间缩短为黑暗条件下的1/3,并且器件可以在163 s内回复。通过理论分析和实验探究发现ZnO纳米薄膜室温NO₂气体传感器较高的灵敏度是由其厚度小、表面氧空位密度大的特点所决定的。