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近年来,锆钛酸铅(Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3,PZT)铁电薄膜材料及器件已经成为了国内外科学工作者研究的热点。PZT 薄膜材料应用前景十分诱人,被广泛用来制备铁电、压电、热释电等器件。因此研究PZT 铁电薄膜的制备、结构和性能具有重要的意义。本文在系统总结和全面分析PZT 铁电薄膜研究现状的基础上,深入研究了PZT铁电薄膜材料的Sol-Gel 制备技术,制备出无裂纹,致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀的PZT 铁电薄膜。研究了Sol-Gel 法制备PZT 铁电薄膜时不同