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超低损耗反射镜是影响激光陀螺性能的关键元件之一,为了实现反射镜的低损耗,首先要加工出具有超光滑表面的反射镜基片。超光滑表面的检测与评价技术在工艺技术中作用越来越突出和重要。反射镜基片超光滑表面质量检测主要包括：表面轮廓检测、表面疵病检测、表面亚表层损伤检测等三个方面。本论文研究的重点是反射镜基片表面轮廓检测技术,主要包括以下两个方面的内容：一、反射镜基片表面微观形貌的检测技术。研究空间波长与表面微观形貌的各种评价参数(如RMS、PSD、波纹度等)的关系,并进行表面粗糙度常用评价参数(