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该文采用V<,2>O<,5>粉末靶离子束溅射,金属钒离子束反应溅射和金融钒离子束溅射三种方法制备了氧化钒材料,通过不同条件下的退火实验.研究了不同工艺条件对氧化钒材料性质的影响.得到了以下结果.对于V<,2>O<,5>粉末靶离子束溅射制备的样品,溅射后的样品表现为非晶态,在不同气氛（纯氮气,氮氢气氛）下退火后,样品由非晶态向多晶态转变,一定条件下生成了B相的VO<,2>,同时晶粒也随退火时间增加而长大.对于金属钒离子束溅射制备的样品,溅射得到的样品经过纯氧气气氛下退火处理后,XRD测试显示样品中包含有V<,6>O<,13>和V<,2>O<,5>相.同时样品也表现出负的电阻温度系数和半导体-金属相变过程.