太赫兹波辐射是一种电磁辐射,它的辐射区域在红外光与毫米波之间。与微波通信相比,太赫兹通信具有更大的传输容量,太赫兹波的波束窄可以使定位更加精确,同时由于它的波长短使得太赫兹系统的器件更小更轻,使之更适合现代设备更小更精密的要求。滤波器是电子系统中不可或缺的器件之一,用于滤除混杂在有用电磁频谱中的干扰信号,提高系统性能。在太赫兹频段,物理尺寸太小成为限制太赫兹滤波器发展的重要原因,因此加工的难易度也就成为设计太赫兹滤波器的重要考虑因素。在众多种类的太赫兹滤波器中,由于波导滤波器是金属封闭的结构,与其他形式太赫兹滤波器相比而言,可避免电磁辐射,功率容量大,且其结构的重复性和简单性,使其还具有性能和造价上的优势。因此,本文以太赫兹波导滤波器为研究对象,探讨了太赫兹滤波器的设计方法及其新结构。本文首先介绍了太赫兹滤波器的发展现状和前景,然后简述了滤波器基础理论及波导相关等效电路分析方法,为设计波导滤波器提供理论基础。其次,给出一种中心频率为220GHz,相对带宽为5.5%电感膜片耦合波导滤波器的设计实例。介绍了如何由最初的低通原型转换为实际带通滤波器,如何以波导膜片来等效替换集总元件,实现滤波作用的设计过程。并用三维电磁仿真软件仿真优化得到满足设计指标的带通滤波器。另外还设计了一种工作在148GHz相对带宽为13%的E面膜片耦合波导滤波器,其相比较电感膜片结构的滤波器而言具有更大的带宽。最后,着重分析了平板开槽波导和矩形E面开槽波导作为带阻滤波器的传输特性,分析了不同形状的槽对传输特性的影响,以及开槽个数和位置的变化对滤波器性能的影响。