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EBAPS作为一种新型的混合型光电探测器件,既具有真空光电探测器件增益高、响应速度快、光谱灵活等优点,也具有半导体器件空间分辨率高、功耗低、成本低和工艺成熟等优势,目前已被广泛应用于微光夜视、激光雷达、高能物理和天文观察等领域。EBAPS电子轰击性能的好坏直接决定了EBAPS组件的探测性能,因此研究EBAPS的电子轰击性能是保障和提高EBAPS性能的关键技术之一。本文针对EBAPS特性对电子轰击APS的测试方法和测试系统展开了研究,旨在为高性能EBAPS的研制提供理论依据和实验指导。本文首先对EBAPS的发展历程及国内外现状进行了简要介绍。然后对EBAPS的基本结构和工作原理进行了详细分析,其中重点阐述了EBAPS的电子轰击增益机制,并在借鉴真空、固体器件性能参数测试方法的基础上提出了各项电子轰击APS性能参数的测试原理和方法,并设计了整个测试系统,以实现对电子轰击APS增益、信噪比、动态范围和疵点等性能参数的测试。接着根据待测APS芯片GSENSE400BSI的特性和相关测试要求,研制了真空环境下基于FPGA的APS信号读出与USB传输系统,主要包括系统硬件设计、FPGA逻辑设计和USB固件程序设计,旨在实现将电子轰击APS信号读出,并通过真空腔法兰电极传输至上位机。再次,研制了电子轰击APS测试真空组件,主要包括测试专用真空腔体、大面积均匀可控面电子源的设计,高压电源、微电流计和相关辅助结构的设计,为电子轰击APS性能参数测试提供测试条件。然后编写了基于MFC的上位机测试软件,实现了电子轰击APS图像的实时采集、显示和各项性能参数的计算。最后,利用该测试系统对待测APS进行实验,并研究了不同入射电子流密度和不同电子轰击电压对电子轰击APS各项性能参数的影响。结果表明,本次研制的测试系统不仅能实时获得电子轰击APS图像,还能在规定条件下对APS各项电子轰击性能参数进行测试,为获得高质量的EBAPS组件提供理论依据和实验指导。