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随着精密工程若干领域的快速发展,对其关键技术之一,精密定位技术的需求也日益增长,它要求系统具有微/纳米尺度的重复定位精度及分辨率。直线超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应激发弹性体的超声振动,通过定子和动子间的摩擦作用,把弹性体的微幅振动转换成动子宏观的直线运动,直接推动负载,因其响应快、断电自锁、无需运动转换机构,故将其应用于精密定位平台,可获得极高的定位精度及分辨率。本文以改进后的直线超声电机为驱动部件,选用高精度的直线滚动导轨和高分辨率的光栅编码器,搭建了结构简单、导向精度高