随着科技的发展，微机械、光学部件等需求不断增加，在许多新型的微型零件中，要求有不同深度和横截面的微槽结构，如微机械中的滑动槽，生物医学和生化反应中的微通道等。微细电火花铣削加工作为一种新型的加工方法可以很好地完成微细结构的加工，具有极好的发展前景。因此，本课题对微细电火花铣削加工机床及铣削工艺的研究具有重要意义。作为微细电火花铣削加工机床的核心部件，旋转主轴对加工精度具有决定性作用。本文提出了多种旋转主轴的结构形式，经过分析比较，确定采用独立上电模块的方案，即进行后端上电，旋转轴采用NSK高速旋转主轴。旋转主轴部件既可以保证上电的稳定可靠，又可以提高系统的安全性。微细电火花铣削加工作为精密微细加工技术的一种，最基本的要求是机床具有较好的稳定性。通过查阅大量文献，首先对机床的稳定性展开了研究，提出了提高机床稳定性的措施以及本课题中微细电火花铣削加工机床所采取的提高稳定性的措施，通过物理模型计算分析，证明了机床能够稳定地工作，可以作为微细电火花铣削加工试验平台。在机床上进行了微细电火花铣削加工工艺的研究，分析了影响铣削加工的因素，并对关键的影响因素进行了探索性试验研究，通过大量工艺试验研究了RC、TC、TR三种电源模式下不同脉冲电源参数对加工效率、电极损耗的影响。针对铣削加工工艺，着重研究了电极制作、电极损耗与补偿、铣削加工路径规划等方面，经过理论分析和试验探索，找到了稳定制作细长电极的工艺流程及工艺参数，在定长补偿法的基础上提出了新的电极补偿策略并通过试验验证了其合理性。根据微细电火花铣削加工的特点，提出了铣削加工路径规划的原则，如工具电极往复加工、适当的轨迹重合率等。最后根据前期的探索性试验找到的加工规律进行微细电火花铣削加工，加工出了“FIFA”字样。