随着全球经济竞争的日益激烈,半导体制造业是制造业中的技术领导者,卓越的科技领导力。半导体制造行业属于高度自动化、连续生产不可间断的制造高科技企业,因此需要扎实的安全基础来保障连续性生产。因此本文对半导体制造行业设备安全管理的研究,将具有非常大的实践意义和经济价值。基于本质安全化的原则,能量意外释放理论和全生命周期理论,为实现设备在设计、运行、维护等全生命周期内安全性能达标,减少事故发生几率,保护作业人员健康,本文提出了半导体制造行业设备安全认证的理念,并制定了适合半导体制造行业设备的安全要求规范,建立了一套简单方便且易于操作的设备安全认证流程。设备安全认证由必要安全条件认证和充分安全条件认证组成,主要对设备进行水、电、气体、机械防护、标识、管理等方面的符合性认证。经过本研究成果在实际半导体企业中的应用,大量实际数据表明,设备安全认证能够有效的提高设备可靠度,在实现安全运行方面有重要意义。