近场超声挤压膜轴承及控制器研究

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利用压电陶瓷逆压电效应所产生的挤压气膜是实现无摩擦精密定位和支承的一种新方法。气体挤压膜轴承是一种新型的气体轴承,应用于传统支承方式无法满足的特殊环境和现代高科技领域对精密支承元件需求较高的场合,在轻载、精密仪器和微细加工等领域有着非常广泛的应用前景。本文主要针对挤压膜悬浮平台设计一种驱动控制系统,实现稳定悬浮,一般应用于承载能力要求不高的场合。以挤压膜理论为基础,建立矩形滑块导轨模型的动特性方程,并应用有限差分法求解非线性模型,获得挤压膜激振参数对气膜性能的影响。根据理论分析,针对挤压膜悬浮平台,设计一种驱动控制系统,实现悬浮平台的稳定悬浮。以TMS320F28335作为数字控制器的CPU,构建DSP的最小控制系统,以及相关外围电路共同构成悬浮平台的驱动控制的硬件电路,功率模块中采用高压运算放大器驱动多组推挽功率放大电路,以增强电路的驱动能力。在CCS3.3开发环境中利用C语言和汇编语言对寄存器初始化设置和增量式PID控制策略程序的编写。搭建气体挤压膜悬浮测试平台,利用所设计的驱动控制器,对信号的驱动放大并且验证悬浮平台稳定性。试验结果表明驱动控制系统,具有较强的驱动能力,能够满足悬浮平台的稳定悬浮的性能要求。
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