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双反应源气体HVPE生长α-Ga2O3的仿真优化研究

来源 :南京邮电大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dazhonghua988

【作 者】

：

刘庆东 

【出 处】

：

南京邮电大学

【发表日期】

：

2021年01期

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