【摘 要】
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该文详细地介绍了Si纳米粉末独有的特殊性质以及它在微电子与计算机应用方面的巨大潜力;对直流电弧等离子体法制备纳米粉末的机理进行了描述;并由宏观工艺参数出发,以流体动
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该文详细地介绍了Si纳米粉末独有的特殊性质以及它在微电子与计算机应用方面的巨大潜力;对直流电弧等离子体法制备纳米粉末的机理进行了描述;并由宏观工艺参数出发,以流体动力学理论为工具,对电弧等离子体制粉设备中的沉积室内的气体流动情况进行了分析,建立了相应的数学模型;用数值计算的方法对该模型进行了计算,得到了沉积室内空间各点的速度分布等微观参数;通过分析沉积室内的流场情况以及Si纳米粉自身的一些性质,找出了宏观工艺参数与微观参数之间的联系,了解到不同取粉部位的粉末的粒径有很大差异.该文采用直流电弧等离子体法在氩、氮、氩氮等气氛下制备了Si纳米粉末.
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