【摘 要】
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在大屏幕显示这一技术领域,FED器件由于自身的优点,具有广阔的市场应用前景.同时,碳纳米管作为一种新发现的纳米结构,有其特殊的力学和电学特性.该文选择了CNT-FED器件制作关
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在大屏幕显示这一技术领域,FED器件由于自身的优点,具有广阔的市场应用前景.同时,碳纳米管作为一种新发现的纳米结构,有其特殊的力学和电学特性.该文选择了CNT-FED器件制作关键工艺,尤其是阴极制备工艺的探索作为研究课题,目标是在实验室中制作出五英寸CNT-FED器件样品.通过该论文,我们主要完成了以下工作:1)设计并确定二极器件结构,获得整套光绘掩膜版图;2)确定器件实际制作的详细工艺流程;3)获得器件实际制作的工艺条件参数和操作技巧;4)对印刷所得到的多个CNT样品发射条进行了真空电子发射试验,测试其I-V特性;5)改进了曝光设备,改进了CNT浆料的配制方法,用新方法克服了CNT烧结过程中被氧化的问题,并提出了浆料配制的一种新设想.
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