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该文利用液相沉积定位镶嵌包埋制样技术,通过SEM、TEM、EDS和孔隙度测定,对不同工艺阶段钽粉和阳极块的形貌、结构、成份、孔隙度进行剖析,探究钽颗粒内部及氧化膜形成缺陷的原因,从微观的角度研究其变化机制,从而指导实际过程中钽粉的生产和阳极块工艺技术参数的优化.
电容器级钽粉和阳极块的显微形貌及微观结构的研究
【摘 要】
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该文利用液相沉积定位镶嵌包埋制样技术,通过SEM、TEM、EDS和孔隙度测定,对不同工艺阶段钽粉和阳极块的形貌、结构、成份、孔隙度进行剖析,探究钽颗粒内部及氧化膜形成缺陷的
【机 构】
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中南大学
【出 处】
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中南工业大学 中南大学
【发表日期】
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2000年期
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