传统对光学元件增透的方法是在光学元件表面镀一层或者多层增透膜,以达到增透的目的,然而由于存在物理、化学性质的限制,从而导致热失配、稳定性等问题,使得该方式存在一定的缺陷。当飞蛾眼微结构被发现有增透效果,且该结构具有优良的机械性能,不受物理化学性质等因素的影响,其优越的性质揭示着广大的应用前景,使之立即成为了众多研究者的关注热点。因此本文提出了对光学表面直接加工圆球和圆锥形两种表面微纳结构,以实现增透效果。本文首先介绍了几种分析计算微纳结构增透减反的理论方法,严格耦合波分析方法,矩量法,时域有限差分法,有限元法等,针对其优劣选择有限元法进行分析计算。之后光学元件表面微纳结构进行了建模,并对周期单元进行讨论划分,最终选定了六边形周期,并确定了特征的尺寸。而后推导其解析的理论过程,分析了周期阵列表面微纳结构的衍射特性。在有限元计算过程中,矢量衍射理论分析模型的衍射级和方向,有限元计算电场强度和磁场强度,通过Floquet理论分析计算衍射效率。最后通过分光光度计对两种加工成型的光学元件在200nm-900nm波段内进行实验测试,测得元件的反射率在大于600nm有明显降低了,增透效果明显提高,两种结构的仿真实验结果与实验所测得的数据吻合度非常高。因而综上所述,圆球形和圆锥形表面微结构对光的透射性能有明显的增强效应。研究结果可为表面微纳结构对光透射性能的影响,以及对今后微纳光学器件的优化设计、制造提供参考。