近些年,人们对纳米材料、微机电体系以及超声辅助的探索越来越广泛,本文旨在用超声辅助成形的方法对电沉积制备的纳米晶镍钴合金箔材进行微阵列成形,研究其成形性能,并对纳米晶镍钴合金箔材室温微拉伸中存在的尺寸效应以及高温性能进行研究。通过电沉积法获得纳米晶镍钴合金箔材,对其结构以及力学性能进行研究。借助SEM对箔材进行检测,发现箔材平整致密;利用能谱分析,得知箔材表面的镍钴两种元素分散的比较均匀,镍元素的含量为97.52%,钴元素的含量为2.47%;利用XRD对箔材的结构进行分析发现本实验制备的箔材为简单面心立方结构,并利用谢乐公式对其晶粒尺寸进行计算为30至50纳米之间;利用TEM对其进行检测,测定其晶粒尺寸约为40纳米;利用纳米压痕仪对其硬度进行分析,测得硬度为4.724GPa。利用调节电沉积的时间长短能够得到多种厚度的箔材,在三种情况下做室温微拉伸,分别研究箔材的厚度、晶粒尺寸和微拉伸的应变速率对箔材力学性能的影响,得出箔材的抗拉强度随箔材厚度的变化不大,箔材的延伸率随箔材的厚度增加而增加,最大延伸率达到了11.67%,箔材的抗拉强度以及延伸率均随着材料的热处理温度的升高即晶粒尺寸的变大而减小。箔材的抗拉强度以及延伸率随着本实验所选定的应变速率的增大出现了先增大后减小的现象。利用高温拉伸实验研究了箔材的高温力学性能,箔材在500℃以应变速率为1.11×10-3s-1时箔材的塑性达到最佳,最佳延伸率为366%。刚性凸模微阵列成形件在500℃、箔材厚度120μm、超声振幅加载为20.85μm时,成形质量最佳,两种凸模直径下的高径比分别为0.4875和0.425;软凸模微阵列成形件的高径比随着箔材厚度、超声振幅以及凹模直径的增加而增加,在500℃、箔材厚度120μm、超声振幅加载为20.85μm、凹模直径0.8mm时,微阵列件最大高径比为0.47。