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利用能量为5—20keV、剂量为5×1014—5×1015cm-2的BF+2和As+注入硅中,以快速热退火激活杂质并控制杂质的扩散再分布,可以得到结深～100nm、薄层电阻～60Ω/口的突变p+-n和n+-P超浅结。
用5—20keV As+、BF2+注入与快速热退火制作超浅结的研究
【摘 要】
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利用能量为5—20keV、剂量为5×1014—5×1015cm-2的BF+2和As+注入硅中,以快速热退火激活杂质并控制杂质的扩散再分布,可以得到结深～100nm、薄层电阻～60Ω/口的突变p+-n和n+-P超浅结。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所;中国科学院上海冶金研究所;
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1988年08期
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