论文部分内容阅读
向CoSi2膜中分别注入As+和BF2+杂质,以这种掺杂硅化物作为扩散源,用快速热处理使注入杂质再分布至CoSi2下面的硅衬底中,能制作出结深为0.12μm的硅化物化N+-P和 P+-N浅结.本文研究了所制作的浅结性能,井从注入杂质在 COSi3/Si系统中的再分布行为,讨论了浅结形成机理.
CoSi2中As+和BF2+注入杂质再分布形成硅化物化浅结性能研究
【摘 要】
：
向CoSi2膜中分别注入As+和BF2+杂质,以这种掺杂硅化物作为扩散源,用快速热处理使注入杂质再分布至CoSi2下面的硅衬底中,能制作出结深为0.12μm的硅化物化N+-P和 P+-N浅结.本
【机 构】
：
北京大学微电子学研究所;Fraunhofer-ArbeitsgruppefurIntegrierteSchaltungen;Erlangen;Germany北京100871;北京100871;北京10
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1992年05期
其他文献
采用臭氧氧化工艺、类Fenton催化氧化工艺以及锰砂过滤工艺处理PTA废水处理系统终沉池出水。结果表明,臭氧氧化工艺对COD和色度的最高去除率分别为37.22%和44.74%;类Fenton催
碳纳米管由于其特殊的结构,具有较大的比表面积、较大的长径比和优异的力学电学等性能,已被广泛应用于复合材料增强及污染物/染料吸附分离等众多领域。但由于碳纳米管在复合
<正> 甲状腺素是甲状腺合成和分泌的主要激素。合成后的甲状腺素与甲状腺球蛋白结合式贮存于甲状腺滤泡腔中,并根据甲状腺的功能状态及机体对甲状腺激素的需求通过胞饮作用（Pi
目的 探讨临床检测乙肝两对半定量、乙肝DNA定量与乙肝前S1抗原对乙肝患者诊断和预后的意义。方法 分别使用ELISA法、荧光定量PCR(FQ PCR)和微粒子酶免疫分析技术(MEIA) ,
目的探讨胸腺肽α1(Tα1)免疫调节辅助治疗高龄老年肺部感染的临床作用。方法入选≥80岁高龄老年肺炎患者62例,随机分为治疗组(Tα1组)和对照组,每组31例。Tα1组使用基础治
运用连续颗粒物采样仪(URG Model 2000-01J)对贵阳市城区大气颗粒物PM2.5进行了连续3个月(9~11月)的采集与分析,探讨了PM2.5的浓度分布特征、气象条件的影响。结果显示,贵阳
近年来,国际政治经济格局的动荡、自然气候的剧烈变化等原因,使得一些国家变得愈发脆弱.研究国家脆性的评价体系,评估国家的稳定状态,提出有针对的切实可靠建议,对保障国家更
从20世纪60年代脆弱性概念提出到21世纪脆弱性逐渐成为一门独立的新科学,脆弱性已成为评价地区发展状况的依据以及衡量未来发展规划的判据。基于国内外脆弱性研究文献的回顾
基于2013年中国社会状况综合调查数据,采用多维贫困的判定方法 ,从家庭金融资产、住房资产、实物资产三个方面精准识别了农村居民家庭资产贫困的现状及其致因,研究表明:农村
目的研究瑞舒伐他汀钙对小鼠动脉粥样硬化血清抵抗素的影响。方法将高脂喂养的雄性apoE-/-小鼠24只,随机分为模型组(n=12)、瑞舒伐他汀钙组(n=12,加用瑞舒伐他汀10mg.kg-1.d-