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MEMS集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，涉及物理学、半导体、光学、化学、电子工程、材料工程、机械工程及生物工程等多种学科和工程技术。相比传统的结构型传感器，MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、价格低、集成度高、可批量制造等优点。此外，MEMS传感器还可以?
MEMS应用需求各异 压电MEMS开辟新疆域
【摘 要】
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MEMS集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，涉及物理学、半导体、光学、化学、电子工程、材料工程、机械工程及生物工程等多种学科和工程技术。相比传统的结构型传感器，MEMS传
【发表日期】
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2004年期
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