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单晶炉热屏应用研究
单晶炉热屏应用研究
来源 :科学与信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:now3th
【摘 要】
:
本文重点讨论了单晶炉热屏的发展及应用,对各种结构及类型热屏的优劣都进行了研究,同时指出单晶炉热屏的发展方向.
【作 者】
:
李永哲
【机 构】
:
河北晶龙阳光设备有限公司
【出 处】
:
科学与信息化
【发表日期】
:
2019年20期
【关键词】
:
单晶炉
热屏
升降装置
水冷
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本文重点讨论了单晶炉热屏的发展及应用,对各种结构及类型热屏的优劣都进行了研究,同时指出单晶炉热屏的发展方向.
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