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用预处理的铝箔，以草酸为电解液，采用二步阳极氧化法制备多孔有序阳极氧化铝阵列模板，利用透射电镜和X射线衍射仪对其进行表征，并对阵列孔的形成机理进行分析。结果表明：适当提高电压有利于孔的有序化；孔的有序化存在一个最佳阳极氧化时间，本试验条件下为6h；根据试验结果并结合目前几个常见模型可较圆满解释阵列孔的形成过程。