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激光感应化学蚀刻
激光感应化学蚀刻
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:plutoBSD
【摘 要】
:
<正> 1.引言电子学的飞速发展得力于精细加工技术的帮助。随着材料技术的进步,能得到可进行超精细加工的均匀优质半导体和电介质等电子学用的材料,同时,蚀刻工艺也从原来的湿
【作 者】
:
周福新
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
气体分子
化学反应
光感应
固体表面
活性物质
化学蚀刻
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<正> 1.引言电子学的飞速发展得力于精细加工技术的帮助。随着材料技术的进步,能得到可进行超精细加工的均匀优质半导体和电介质等电子学用的材料,同时,蚀刻工艺也从原来的湿法处理改变为干法处理,并向更高级的精细化方向发展。
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