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介绍了一种大面积扫描探针显微镜.仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案,同时具备较大扫描范围和较高的分辨率,扫描重复性好,大面积扫描范围220 mm×290 mm×60 mm,重复性2～3μm,并可实现探针的自动逼近、光学显微镜自动聚焦和图像自动拼接.
大面积扫描探针显微镜研制
【摘 要】
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介绍了一种大面积扫描探针显微镜.仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案,同时具备较大扫描范围和较高的分辨率,扫描重复性好,大面积扫
【机 构】
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东南大学智能运输系统研究中心,东南大学分子与生物分子电子学教育部重点实验室
【出 处】
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中国工程科学
【发表日期】
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2004年9期
【基金项目】
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国家科技攻关项目
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