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本文主要介绍如何根据连续激光退火的需要，将Nd^3＋：YAG激光划片机改进和完善成专用连续激光退火设备。简单介绍利用此设备进行激光退火的实验结果。提出研制和生产专用连续激光退火设备的必要性。
Nd^3＋：YAG连续激光束用于半导体连续激光退火的研究
【摘 要】
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本文主要介绍如何根据连续激光退火的需要，将Nd^3＋：YAG激光划片机改进和完善成专用连续激光退火设备。简单介绍利用此设备进行激光退火的实验结果。提出研制和生产专用连续激光
【机 构】
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中国科学技术大学研究生院,北京706厂
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1985年1期
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