FR-4覆铜板飞秒激光微孔加工工艺研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zemao1988
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针对FR-4覆铜板高精度微孔成形中传统机械打孔流程繁琐、精密化程度低等问题,采用飞秒激光对覆铜板进行单因素试验和正交试验,以入口直径、出口直径和锥度作为评判指标,探讨工艺参数对微孔质量的影响规律.结果表明,对微孔质量影响最大的因素为单脉冲能量,影响最小的因素为重复频率,最优工艺参数组合为:单脉冲能量29μJ,重复频率92 kHz,脉冲个数2112,离焦量0.01 mm.采用优化的工艺参数组后,可以对FR-4覆铜板进行高质量和高精度的打孔,实现快速、高效地制作印刷电路板.
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