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本文结合Wafer Stepper简要说明投影光刻物镜的指标判断和要求,设计时应考虑的某些问题,并介绍一个5倍g线高分辨率投影光刻物镜的设计结果,该物镜的象素数N为2.3×10~8。
五倍高分辨率投影光刻物镜设计
【摘 要】
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本文结合Wafer Stepper简要说明投影光刻物镜的指标判断和要求,设计时应考虑的某些问题,并介绍一个5倍g线高分辨率投影光刻物镜的设计结果,该物镜的象素数N为2.3×10~8。
【机 构】
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机电部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1991年3期
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