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本文给出了一种基于均匀试验设计的响应表面模型,同时得到该模型在VLSI集成电路参数成品率中的优化方法.本方法首先对电路的关键参数进行扫描,确定满足电路基本性能时的参数变化范围.在此范围内,可对电路参数进行以数论方法为基础的均匀试验设计和建立响应表面.对拟合得到的响应表面模型进行CV拟合检验,求出最佳的电路设计值.本方法适用于集成电路的工艺、器件和电路级的模拟.