【摘 要】
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针对材质为GCr15轴承钢的长方形工件纳米级超光滑表面的技术要求，在CJY500超精密研磨机上，采用机械研磨和化学抛光相结合的非接触式超精密研磨（浮动研抛）方法，对长方形GCr15轴承钢
【机 构】
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北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室
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针对材质为GCr15轴承钢的长方形工件纳米级超光滑表面的技术要求，在CJY500超精密研磨机上，采用机械研磨和化学抛光相结合的非接触式超精密研磨（浮动研抛）方法，对长方形GCr15轴承钢工件进行超精密研磨抛光。结果表明：与其它研磨方法相比，此方法在获得纳米级表面粗糙度的同时，还能获得极高的面形精度，而且无加工变质层。
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