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室温下高峰谷电流比、高峰电流密度的双势垒共振隧穿二极管

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sodoil
【摘 要】
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在半绝缘GaAs衬底上制作了AlAs／GaAs／In0.1Ga0．9As／GaAs／AlAs双势垒共振隧穿二极管，在GaAs层中加入In0.1Ga0．9As层用以降低势垒两边的势阱深度，从而提高了器件的峰谷电流比和峰电流密
【作 者】
：
易里成荣 谢常青 王从舜 刘明 叶甜春 
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所微加工与纳米技术实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2005年10期
【关键词】
：
共振隧穿二极管 峰谷电流比 峰电流密度 resonant tunneling diode  peak-to-valley current ratio  peak 
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（批准号：60236010）
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在半绝缘GaAs衬底上制作了AlAs／GaAs／In0.1Ga0．9As／GaAs／AlAs双势垒共振隧穿二极管，在GaAs层中加入In0.1Ga0．9As层用以降低势垒两边的势阱深度，从而提高了器件的峰谷电流比和峰电流密度，为了减小器件的接触电阻和电流的非均匀性，使用了独特形状的集电极，总的电流密度也因此提高，薄栅也有助于提高器件的PVCR和峰电流密度，在室温下测得其峰谷电流比高达13．98，峰电流密度大于89kA／cm^2．
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