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硬度是评价硬质薄膜的主要力学性能指标.但是对于硬度高于20Gpa而厚度仅为几个微米的硬度薄膜,对其硬度的测量是非常困难的.
硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择
【摘 要】
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硬度是评价硬质薄膜的主要力学性能指标.但是对于硬度高于20Gpa而厚度仅为几个微米的硬度薄膜,对其硬度的测量是非常困难的.
【机 构】
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上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室,上海交通大学高温材料及高温测试教育部开放实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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