论文部分内容阅读
提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析，着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响，并与Ansoft有限元仿真结果对比。结果表明：当大间隙时，梳齿受到的边缘效应不明显，但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象；当小间隙时，平行板电容器模型公式不再适用，间隙值越小，电压越大时，耦合作用越明显，梳齿横向静电力越大，受到边缘效应的影响越大，横向静电力不再为恒定值。