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本文先从特种气体在半导体晶圆代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨,以便读者对整个特种气体供应系统在晶圆代工厂的储存、输送与控制等有较为清楚的了解。
浅析半导体晶圆代工厂的特气供应系统
【摘 要】
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本文先从特种气体在半导体晶圆代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并且对在晶圆厂有着重要作用
【机 构】
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上海交通大学微电子学院
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年06期
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