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对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍.
薄膜的力学测试技术
【摘 要】
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对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍.
【机 构】
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香港科技大学机械工程系,
【出 处】
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机械强度
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
：
香港资助项目;
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