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<正> 1 引言当代双极IC的发展有以下几种趋势:第一,朝着多功能化发展,包括各种数字逻辑功能,模拟功能,数字模拟兼容功能;第二,朝着高性能发展,包括各种高带宽、高速、高精度功能;第三,朝着功能系统化发展,如各种单片功能部件、单片机和单片系统的发展;第四,朝着功能专用化、高质量高可靠
高性能双极IC工艺新技术
【摘 要】
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<正> 1 引言当代双极IC的发展有以下几种趋势:第一,朝着多功能化发展,包括各种数字逻辑功能,模拟功能,数字模拟兼容功能;第二,朝着高性能发展,包括各种高带宽、高速、高精度
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1993年1期
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